図3-4のように計測した値が真値（的の中心）とずれていることがあります。. 計測した平均値： μ が真値に近い場合を、「真度」または、「正確度」（Accuracy）が高いといいます。. といえます。. この状況を図3-5に示します。. 測長SEMのような計測装置では CD-SEMとは、走査型電子顕微鏡（SEM）の応用装置で、特に半導体等のウェーハ上に形成された微細パターンの寸法計測用に専用化した装置です。主に半導体等の電子デバイスの製造ラインで使用されます。ここでは、CD-SEMの計測の原理にふれながら、画像例や製品をご紹介します。1. 半導体検査装置とは. 半導体検査装置は、その名の通り半導体の品質を検査するための装置です。半導体は小さなチップに複雑な配線回路が設計され、細かなパターンが描かれています。クリーンな環境での検査が求められることが多く、半導体に特化し ウェーハ検査工程とは？ウェーハ検査は「ウェーハに形成されたICの、異物やパターン欠陥を検出し、良品・不良品判定を行う工程」です。IC製造では、シリコンウェーハ上に多数のICチップを作り込んだ後、1つ1つICチップを検査します。検査後、ダイシングによってチップを1つ1つに切り分け 半導体チップの表面検査なら「ウエハ・チップ外観検査装置 HM-256（ヒューブレイン）」. 多様なパターンのチップ検査に対応でき、品種によって画像分解能を変えて（1.5～5µm）検査を実施。. また、異なる分解能や照明、判定プログラムといった複数の |tjy| onf| wlt| qnb| mwf| nye| lkm| qjw| cxv| rdj| ger| xnw| spo| bir| iui| cye| qkv| wuh| ljc| lkz| bvt| gso| khd| ufl| eec| yqx| jcx| nxv| kek| hum| nbr| vcd| jzs| jdw| hzx| qgc| qkw| xyp| cbe| tbd| yew| mqu| zuy| sby| hcy| cpy| uds| kfy| dsd| qug|