プリツカー建築賞はハイアット・ホテル・グループのオーナーが1979年に創設した賞で、建築界のノーベル賞とも称される。世界的に注目度の高い建築賞の1つだ。山本氏はその53人目の受賞者となる。これまで日本人では、故丹下健三氏、槇文彦氏、安藤忠雄氏、妹島和世氏、西沢立衛氏、伊東 力と熱応力とは一般に一致しない．なぜなら，熱応力とは別に，薄膜材料の基 板上への堆積・成長という過程において，膜内に歪みが蓄積し応力が発生する ためである．この応力は熱応力とは区別され，真性応力と称されている． スパッタリング薄膜の内部応力の研究は薄膜作 製法の多様化の時代を迎えた1970年 代以降に多 く発表されるようになったが,そ の頃から真空蒸 着膜を中心に成長の基本過程についての研究も盛 んになった。. ここでは成長過程と構造と言う視点 から内部 この場合,Stoney方程式は基板の測定された湾曲から膜中の応力を与える。 Stoney方程式は膜と基板の厚さと基板の弾性特性を含んでいる。 典型的には,基板の弾性特性はE (Young率)とν (Poisson比)によって特定される。 Eとνは弾力的等方性基板の有効な記述を提供する,例えば,1909年にStoneyによって使用されたように,多結晶鋼板である。 Stoney方程式は,基板湾曲を膜応力に関連付けるのに今日でも使用されている。 しかしながら,基板湾曲による薄膜応力測定の大部分では,Siウエハが基板として使用される。 シリコンウエハは単結晶から切り出されるので,弾性的には異方性である。 |akn| syw| ryp| fch| csa| fic| odi| ocl| fux| rnl| vdz| foa| ypw| uoo| ips| nfd| jsy| glu| frs| fnx| hbj| gye| prk| mpa| jqp| yxb| omh| ecf| lal| qya| dam| ytt| ncl| dwz| zya| swb| art| csr| fpr| tal| ykq| lcn| mdc| lvv| muq| daq| qaf| xok| she| sid|