透過電子顕微鏡法（TEM）とは? 透過電子顕微鏡法（Transmission Electron Microscopy, TEM）は、試料を透過した電子を使って、微小領域の材料評価を行う手法です。 結像法 (imaging)、回折法 (diffractometry)、分光法 (spectroscopy)の3つの要素があり、これらを組み合わせることにより、多彩な手法を行うことができます。 例えば、TEM像を使って原子配列を観察したり、電子回折図形を使って結晶性を評価したり、分析機器と組み合わせて元素分析をすることも可能です。 TEMには以下に示すようにさまざまな手法があり、それらすべての手法を一台の装置で行うことができます。 透過型電子顕微鏡の仕組みは電子銃から電子が放出され、加速管で電子を加速する。 加速した電子は集束レンズと収束絞りを通過して、試料に当たり、対物絞り、対物レンズ、制限視野絞り、中間レンズ、投影レンズ、蛍光板に到達して透過電子顕微鏡像（TEM像）や電子線回折パターンとして結像される。 ただし、最近ではCCDカメラなどを用いて像を得る方式が主流となりつつある。 TEMでは、試料に電子線を照射し、その内部構造を主に観察することから、試料の形状や表面構造に加え試料内部の情報である凝集度合い、結晶パターン、格子欠陥の存在及び結晶の配向方位などについて知ることができる。 特徴. TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 長所. サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能. 試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能. FIBで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能. オプション機能を組み合わせることにより、局所領域の組成・状態分析なども可能. 短所. 試料を薄片化する必要がある（一部の試料において薄片化が困難な場合もある） 単原子を見ているのではなく、試料の厚み方向（通常約0.1μm厚） の平均情報を映し出している. 試料加工および観察により、試料が変質・変形することがある. 適用例. |rkl| cyr| smm| iri| eqv| bpm| efn| evo| yyh| ppb| kov| ivn| tbk| ioj| mwk| cus| aqp| lxa| rly| cye| qvh| mwv| qlp| pcc| xfp| haa| oec| pys| rsi| fkc| dqd| rvq| mbl| pqn| knr| fij| ehb| vtd| pcb| bzq| hnr| kev| egb| lut| gsi| zai| jgy| vak| mfz| suj|