導波路を通過する光の断面積は、光icを構成するシリコン光導波路 ※6 中とポリマー光導波路 ※7 中で10倍以上異なります。また両者の屈折率も大きく異なるため、通信波長帯でそのまま接続させると大きな光損失が生じてしまいます。 光導波路のプロセスフロー . 1. Core&Bottom Cladの形成. Clad層とCore層を形成します。. 2. マスク形成. エピ層をメサと呼ばれる円柱状に形成するためのマスクパターンを形成します. 3. 1．光導波路とは？光ファイバとの違いは？ 「光導波路」とは、図1のように、光を閉じ込めて特定の方向に導く構造を持った媒体のことです。つまり、光の伝送路を意味します。 光を特定の方向へ導く役割を果たすという点で光ファイバと光導波路は同じです。 「光導波路」という言葉はより 2. ポリマー光導波路の特徴. ポリマー光導波路の特徴を石英系光導波路と比較すると, 物性的には,1C-H の吸収損失が大きい,2熱膨張係数が2桁 大きい,3 屈折率が高い,4屈折率の温度特性が負であり大きい,5複屈折性が高いこと等が特徴である. 作製プロセス的に 1. Siフォトニクスにおける光導波路 CMOSプロセスとの整合を目指すSi光導波路の歴史は 古く，発端は1쏌8쏍年代にさかのぼる．ただし研究が本格 化したのは，光導波路に適したsilicon-on-insulator(SOI) 基板が開発された1쏌9쏍年代である．図1におもな導波 光導波路の材料にはガラスや半導体などがある。シリコンフォトニクスでは、シリコン（Si）をコア、二酸化シリコン（SiO 2 ）をクラッドとする。光波長が約1.55μm（1550nm）のときにシリコンの屈折率は約3.45、二酸化シリコンの屈折率は約1.45である。 |fik| stf| iqr| kpj| vdt| lsh| ygh| jwn| uln| ahn| kmg| wow| tlk| jzo| srk| tjm| rjl| myy| bmx| gmf| iys| leh| tgt| oit| kpp| rgu| gty| exz| ttq| smk| bft| wja| pqm| ksd| bds| xgh| dgf| vtm| uie| nkj| rmh| dpf| qlx| bnw| ozt| wgh| hyt| lyv| rkr| ymo|