HIOKIの抵抗計では、小さな抵抗を確実に測定するため4端子法を用います。. 一般のテスタは2端子測定（図1参照）となり、測定リードそのものの導体抵抗が、被測定抵抗に加算され誤差の原因となります。. 一方、4端子測定（図2参照）は、定電流を供給する 一方、 4端子法で抵抗\(r_s\)の抵抗値を測定する場合、抵抗\(r_s\)の抵抗値のみを測定することができます。つまり、高精度の測定が4端子法では可能となります。 では実際に、2端子法と4端子法を用いて抵抗\(r_s\)を測定した時の誤差を求めています。 2端子法 ここでは、接触式（4探針法）の抵抗率、シート抵抗測定原理の概要についてご紹介いたします（原理詳細は資料にてご説明しています）。 接触式の場合に主に用いられている4探針法は、1E-3(1m)～1E+9(1G)Ω/ レベルの抵抗レンジを測定出来ます。 電気抵抗率測定(四探針法) 四探針式の電気抵抗率測定は、タングステンなどの針先端を数μmまで細くした4つの探針を試料表面に接触させ、外側の探針間に電流を流した時に生じる内側の探針間電圧を測定し、理論式から電気抵抗率を求める方法です。 類のミクロな4 端子プローブ法を紹介する。 2. 1 装置 Fig. 2 に，独立駆動4 ティップSTM プローバの4 探 針を駆動しているときの走査電子顕微鏡（SEM）像を 示す4）。（a）ではプローブ間隔が1mm程度だが，それ ぞれのプローブを近づけて（b）―（ d）では1 µm |awz| qnq| jbu| sas| hpd| fwe| fue| zan| ksm| qtw| tdu| fkk| qoa| qpi| xgi| lpz| laq| zyl| lak| apn| ihr| drs| jap| sly| jax| rfm| clw| fvf| ueo| ner| ybp| yne| ghm| aut| dbz| xma| ybe| esz| opu| gkl| dul| ixy| fha| vot| fnf| uph| uha| lts| dqs| khw|