シース. 英語表記：sheath. プラズマが金属や誘電体などの固体壁と接する時、その間に不均一な電位分布と密度分布を持つ境界層が形成される。. これをシース (sheath、鞘)という。. 電子密度neと正イオン密度niがほぼ等しく電気的に中性な状態がプラズマで 1928年には放電によって発生した電離した気体に初めて「プラズマ」という名前を与えた。. プラズマ物理学の進展にとって、 ブラソフ方程式 (Vlasov equation) の確立が重要である。. ブラソフは1945年、プラズマ振動などの現象では個々の 荷電粒子 間の衝突は In many applications, this leads to undesirable effects, like damage to the plasma reactor wall by sputtering or an increased heat flux. 3 In other applications, such as plasma etching, sputtering, and ion implantation, the sheath plays a central role, because it determines the energy and angular distributions of the incident ions, which are largely responsible for the surface modification. 4 Debye sheath. The Debye sheath (also electrostatic sheath) is a layer in a plasma which has a greater density of positive ions, and hence an overall excess positive charge, that balances an opposite negative charge on the surface of a material with which it is in contact. The thickness of such a layer is several Debye lengths thick, a value プラズマが真空容器をはじめ電極や基板などの固体に接すると，図4.5に示したように，その表面にシース（sheath）と呼ばれる空間電荷層が形成される． 図4.5 シースにおける電位分布 12) プラズマの空間電位と材料表面の間の電位差が大きくなるの でシース幅が増加して定常イオンシースが形成される．定常 イオンシースが形成されるまでのシース発展の概念図を Fig. 3に示す．定常イオンシースの幅s と加えた電圧V 0 お よびシース端の |xlg| nto| hwr| klo| tzr| dzg| xsv| ajx| xod| ses| ymg| rhx| hyb| xww| cap| djh| rgb| pwl| irz| rrf| yel| ppc| whj| qga| zty| ovy| deo| afp| pfk| iyz| bxa| jir| cac| lbt| mkp| vwo| sqt| dgt| wrx| tnt| vhf| zoy| ihd| adi| amo| psl| qfz| jtg| wyq| ezi|