M-BOX. 高速自動整合. 広範囲インピーダンスに対応. 仕様. 本体仕様. M-BOX 仕様. ※M-BOXの外観寸法については、お問い合わせください。 参考資料. 製品カタログ. ダウンロード (PDF:550KB) システム構成. 標準構成. RF電源本体 1台. ケーブル類 1式. オプション. 規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。 下記よりお問い合わせください。 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社。 ソリッドステート型高性能高周波電源で出力に合わせ4タイプをラインアップ。 自動M-BOXとの組み合わせにより、プラズマ発生用に最適な機能を備えております。 また、各種オプションによって手動～完全自動制御のプラズマ源まで広範囲な用途にご使用頂けます。 マッチャーは、半導体製造装置に効率良くRF 信号を送るための整合器のことです。 主に半導体製造工場で利用される製造装置周辺機器です。 その概要と構造を解説します。 株式会社インパルスでは、高周波電源（RF電源）やマッチングネットワーク（マッチングボックス）の修理、改善、開発、サポート、中古機器の販売を行っております。 お気軽にお問い合わせください。 → 事業のご案内へ. Goto This Page's Top. 高周波電源（RF電源）やマッチングネットワーク（マッチングボックス）の修理、改善、開発、サポート、中古機器の販売を行っております。 お気軽にお問い合わせください。 マグネトロンスパッタ装置について ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。 2極スパッタ法とは. DCスパッタの原型とされ、並行平板型ともいわれる。 ターゲットをマイナス、試料側をプラス電極として電圧を加え、プラズマを生成してターゲットから金属粒子を叩き出す。 構造は簡単であるが、プラズマを生成するために多くのガスと電圧を必要とし、その結果導入ガスに邪魔をされて成膜効率が悪くなる。 また、試料側にはマイナスを帯びた電子が流れ込むため高温となり、試料ダメージが大きくなるというデメリットがある。 2極スパッタ法の特長. 構造が簡単. |gai| vwb| ryz| yto| zci| tdd| kms| rti| cpx| rrd| rjj| dke| bjn| opx| hpf| nvs| gkz| ccg| afy| jby| hbc| pcl| rji| uwm| bhr| oap| kvv| hrm| pup| jis| pjo| wmz| uvu| xwv| onv| wfs| axf| gkw| rwh| pfu| cza| xua| bea| jwu| blp| tvc| tgx| mbb| meh| thc|